mems系统-k66凯时

申请/专利权人：杭州士兰微电子股份有限公司

申请日：2021-06-18

公开（公告）日：2024-03-08

公开（公告）号：cn113423050b

主分类号：h04r19/04

分类号：h04r19/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.08#授权;2021.10.12#实质审查的生效;2021.09.21#公开

摘要：本发明提供了一种mems系统，差分电容式mems传感模块接入偏置电压及预定电压，差分电容式mems传感模块的差分电容在外部的声音信号的激励下产生电容变化量，差分电容中的一个mems电容上的信号可以耦合到另一个mems电容上的信号一起输出，在mems部分完成了差分转单端的功能，体现为差分电容式mems传感模块输出的第一电压信号通过一个输出端输出，实现了差分电容式mems传感模块的单端输出，信号处理模块只对第一电压信号进行信号处理，可兼容普通的单输入的信号处理模块，无需重新设计信号处理模块。

主权项：1.一种mems系统，其特征在于，包括：偏置信号生成模块，用于生成偏置电压，且所述偏置信号生成模块的输出端与差分电容式mems传感模块之间不连接滤波电容；差分电容式mems传感模块，包括差分电容，所述差分电容在外部的声音信号的激励下能够产生电容变化量，所述差分电容式mems传感模块连接所述偏置信号生成模块，接入所述偏置电压，所述差分电容式mems传感模块还接入预定电压，并根据所述电容变化量、偏置电压以及预定电压输出表征所述声音信号的第一电压信号，所述第一电压信号通过一个输出端输出，使差分电容式mems传感模块单端输出；以及，信号处理模块，连接所述差分电容式mems传感模块的输出端，接入所述第一电压信号并进行信号处理，以输出第二电压信号，所述信号处理模块包括：单个缓冲单元，连接所述差分电容式mems传感模块的输出端，接入所述第一电压信号并对所述第一电压信号进行阻抗转换，得到缓冲信号；单个第三高阻单元，一端连接在所述差分电容式mems传感模块的输出端与所述缓冲单元之间的节点上，另一端接入共模电压。

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