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微观装置的制造及其处理技术
  • 本公开提供一种微机电系统封装件及微机电系统封装件制造方法。一种微机电系统封装件包括：第一基板，至少一个连接焊盘设置在第一基板上；第二基板，与第一基板相邻设置；元件单元，设置在第二基板的第一表面上并且包括金属焊盘；连接构件，与连接焊盘和所述金...
    2022-12-13
  • 一种扫描微镜芯片的制备方法及扫描微镜芯片，属于微型光学器件领域。扫描微镜芯片的制备方法包括：对硅晶片进行图案化刻蚀得到梁结构；在梁结构表面全包覆含碳保护层得到扭转梁。扫描微镜芯片能够通过上述的制备方法制得，该扫描微镜芯片的扭转梁包括梁结构和...
    2022-12-13
  • 本申请的实施例提供了一种微机电器件空腔结构的制作方法、及微机电器件，所述方法包括：在具有凹槽的衬底基板的所述凹槽内沉积牺牲层；在所述牺牲层上形成支撑层，并在所述支撑层上制作与所述牺牲层连通的释放孔；对所述衬底基板进行湿法刻蚀，以通过所述释放...
    2022-12-13
  • 本发明提供一种大尺度、大滑移行程并且有良好一致性和可靠性的结构超滑器件及其制备方法，所述超滑结构包括基底和多个超滑片，所述多个超滑片连接在所述基底上，所述连接使得所述超滑片的超滑面距基底表面的高度可调节。所述制备方法包括将所述超滑片转移至带...
    2022-12-13
  • 本发明涉及一种微机械压力传感器(100)，所述微机械压力传感器包括：传感器壳体(101)，所述传感器壳体具有容纳空间(103)和压力开口(119)，经由所述压力开口能够实现所述容纳空间(103)与所述压力传感器(100)的环境之间的在流体技...
    2022-12-13
  • 本发明提供一种mems流量传感器及其制备方法，mems流量传感器包括衬底、绝缘层、线圈、转子和固定轴；所述衬底具有相对的第一表面和第二表面，所述衬底的第一表面覆盖所述绝缘层；所述线圈设置于所述绝缘层远离所述衬底的一侧；所述固定轴固定于所述绝...
    2022-12-13
  • 本发明提供一种mems电容式加速度计及其制备方法，包括基底、质量块、悬臂梁、第一电极层和第二电极层；所述质量块设置于所述基底的上方，且所述质量块与所述基底之间形成预设距离；所述悬臂梁倾斜设置；所述悬臂梁的第一端与所述基底固定连接，所述悬臂梁...
    2022-12-13
  • 本实用新型涉及转运工具技术领域，且公开了一种电机轴加工用转运工具，包括转运箱，所述转运箱的底部固定设有万向轮，所述转运箱的顶部为敞口设置，所述转运箱的内部固定设有上放置板和下放置板，所述上放置板的表面和下放置板的表面均开设有多个均匀分布的放...
    2022-12-13
  • 本实用新型公开了一种桶装乳化液原油的加热保温装置，包括箱体、加热棒和控制器，箱体上方设有若干个开孔，开孔内设有导向架，箱体下部设有支撑架，若干个加热棒可拆卸连接于支撑架下方的箱体上，箱体内设有温度传感器，控制器电性连接温度传感器和加热棒。本...
    2022-12-13
  • 本发明的实施例公开了一种惯性传感器结构与惯性传感器，其中惯性传感器结构包括：衬底；器件结构，其设置在衬底的一侧，器件结构包括第一可动质量块、第二可动质量块；第一可动质量块和第二可动质量块关于一中心点180°旋转对称；一对限位梁，第一可动质量...
    2022-12-13
  • 本发明提供了一种硅基宽阵列纳米通孔的制造方法及硅基宽阵列纳米通孔，所述制造方法包括以下步骤：s1、硅片准备：对硅片晶圆进行初步清洗烘干；s2、锥形槽初步刻蚀：将所述硅片浸泡在koh和异丙醇的混合溶液中刻蚀；s3、金属辅助化学刻蚀：通过匀胶机...
    2022-12-13
  • 本发明提供了一种用于测量液体粘度的mems芯片，所述mems芯片包括衬底，该衬底上设有储液池、位于该储液池上方的悬臂梁、设置在该储液池一侧的液体流道以及与液体流道相连通的滴液口，其中，在该悬臂梁上设有用于静电驱动的第一驱动电极；所述衬底上还...
    2022-12-13
  • 本发明提供一种mems传感器及其敏感结构的释放方法，该传感器上封装有多个未释放mems敏感结构，每个未释放mems敏感结构包括悬臂梁、固定于悬臂梁上的加热电极和读出电极，以及悬空设置于悬臂梁上的质量块，质量块的第一端与读出电极的电极接头连接...
    2022-12-13
  • 本发明提供一种mems风速传感器及其制备方法，mems风速传感器包括衬底、质量块、连接梁、缓冲弹簧、第一线圈层、第一绝缘层和转子；所述衬底为中空的环形结构；所述质量块设置于所述环形结构的内侧；所述质量块上固定有连接梁，所述连接梁与所述衬底之...
    2022-12-13
  • 本发明提供一种氢气传感器及其加工方法和用途，属于氢气传感器领域。通过mems加工工艺获得的氢气传感器，包括硅基底，所述硅基底上表面设有绝热层，所述硅基底下表面开有一对延伸至所述绝热层的绝热槽，所述绝热层表面设有位于绝热槽的正上方的第一贵金属...
    2022-12-13
  • 本发明公开了一种具有重复解锁功能的周转装置，包括周转箱，所述周转箱的顶部转动安装有箱盖，且箱盖的底部边缘处与周转箱的顶部边缘处之间设置有解锁组件，并且解锁组件用于配合外用解锁器对箱盖进行解锁；还包括承接板，所述承接板设置在周转箱内部的底部位...
    2022-12-13
  • 本实用新型属于气凝胶颗粒加工设备领域，公开了一种气凝胶颗粒加工托盘及气凝胶颗粒加工托盘组件，所述气凝胶颗粒加工托盘包括内部为夹层空腔的托盘本体，所述托盘本体的外侧壁上设有与夹层空腔贯通的接口，所述托盘本体的内侧壁和内底壁上均布有多个与夹层空...
    2022-12-13
  • 本实用新型公开了绕线机构，其中包括工作台，所述工作台表面的左右两侧均设置有旋转台，且旋转台顶端横向设置有治具，并且治具与旋转台之间进行同向转动，所述旋转台的侧边竖直设置有电机支撑架，且电机支撑架顶端的左侧处横向设置有第二电机，所述第二电机的...
    2022-12-13
  • 本实用新型涉及一种便于收集废料的工业缝纫机，包括工业缝纫机主体，工业缝纫机主体一侧边处可拆卸安装滑轨，滑轨远离工业缝纫机主体一侧滑动设置有入料盒，入料盒一侧开设有入料口，在保证入料盒通过软管始终与收集框连通的前提下，能够尽可能的减少操作工人...
    2022-12-13
  • 本实用新型提供一种易清洁的衣物面料包缝机，包括工作台面以及设于工作台面上的包缝机本体，所述工作台面上设有收集槽，所述收集槽底部设有顶部开口的收集斗，所述收集槽顶部开口覆设有盖板，所述盖板上开设有若干收集孔，所述收集槽侧壁设有若干负压孔，若干...
    2022-12-13
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