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申请/专利权人:株式会社尼康

申请日:2019-03-22

公开(公告)日:2024-03-08

公开(公告)号:cn117664192a

主分类号:g01d5/245

分类号:g01d5/245;h02k11/215;h02k11/22;b25j19/02;b25j9/10;g01d5/14;g01p3/481;g01p3/487;g01b7/30

优先权:["20180328 jp 2018-061036"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.03.08#公开

摘要:提供一种编码器装置、驱动装置、工作台装置及机械手装置。编码器装置具备:位置检测部,其检测移动部的位置信息;磁铁,其沿所述移动部的移动方向具有多个极性;电信号产生部,其具有根据伴随所述移动部的移动所产生的磁场变化而磁特性发生变化的磁性感应部、和用于将所述磁铁的磁感线向所述磁性感应部引导的第1磁性体,所述电信号产生部基于所述磁性感应部的磁特性而产生电信号;和第2磁性体,其配置于所述磁铁与所述磁性感应部之间,用于将所述磁铁的一个极性部分的磁感线向所述磁铁的其他极性部分引导。能够减少磁铁因不必要的磁场而产生的噪音,从而产生稳定的电信号,能够实现检测结果的可靠性的提高。

主权项:1.一种编码器装置,具备:位置检测部,其检测旋转的旋转轴的旋转位置信息;磁铁,其与所述旋转轴连动地旋转,沿着所述旋转方向交替地设置两种极性;以及电信号产生部,其具有根据伴随所述旋转轴的旋转所产生的磁场变化而磁特性发生变化的磁性感应部、和用于将所述磁铁的磁感线向所述磁性感应部引导的第1磁性体及第3磁性体,所述电信号产生部基于所述磁性感应部的磁特性而产生电信号,所述磁性感应部在所述磁铁的半径方向上与所述磁铁隔开间隔而配置,所述第1磁性体的第1端及所述第3磁性体的第2端与所述磁性感应部接触,所述第1磁性体的第3端及所述第3磁性体的第4端在与所述旋转轴平行的方向上,与所述磁铁隔开间隔而配置。

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