晶圆传输设备-k66凯时

申请/专利权人：浙江果纳半导体技术有限公司;上海果纳半导体技术有限公司

申请日：2023-11-30

公开（公告）日：2024-03-08

公开（公告）号：cn117316846b

主分类号：h01l21/677

分类号：h01l21/677;h01l21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.08#授权;2024.01.16#实质审查的生效;2023.12.29#公开

摘要：本发明公开了一种晶圆传输设备，包括晶圆装载装置、传输舱、搬运机构，晶圆装载装置用以装载晶圆盒，传输舱的一侧与晶圆盒的开口连通，另一侧设有与晶圆加工设备对接的晶圆出入口；传输舱内设有至少两个沿水平方向布设的洁净腔室，任一相邻的两个洁净腔室之间通过对接口连通；最靠近晶圆加工设备一侧的洁净腔室内设有预对准机构。搬运机构包括与洁净腔室一一对应设置的搬运机械手，搬运机械手位于对应的洁净腔室内，用以将晶圆搬运至相邻的洁净腔室、晶圆盒或晶圆出入口处。本发明的晶圆传输设备既能满足晶圆传输过程中的洁净度需求，又能提高晶圆传输效率。

主权项：1.一种晶圆传输设备，其特征在于：包括晶圆装载装置，用以装载存储晶圆的晶圆盒；传输舱，其一侧与所述晶圆盒的开口连通，另一侧设有与晶圆加工设备对接的晶圆出入口；所述传输舱内设有至少两个沿水平方向布设的洁净腔室，任一相邻的两个所述洁净腔室之间通过对接口连通；搬运机构，包括与所述洁净腔室一一对应设置的搬运机械手，所述搬运机械手位于对应的所述洁净腔室内，用以将晶圆搬运至相邻的所述洁净腔室、晶圆盒或晶圆出入口处；最靠近所述晶圆加工设备一侧的所述洁净腔室内设有预对准机构，所述预对准机构包括预对准组件、缓存组件，所述缓存组件位于所述预对准组件的下方，用以缓存自晶圆加工设备搬运回洁净腔室内的晶圆；所述预对准组件包括上支架及安装在所述上支架上的旋转平台、晶圆吸附部，图像识别部、第一对位部，所述晶圆吸附部设置在所述旋转平台上，用以将晶圆吸附在旋转平台上；所述图像识别部位于所述旋转平台的上方，用以识别晶圆边缘的缺口；所述第一对位部包括配合使用的固定夹持块、活动夹持块，所述固定夹持块、活动夹持块分别位于所述旋转平台的两侧，且所述活动夹持块能在驱动件的作用下向靠近或远离所述固定夹持块的方向移动；所述缓存组件包括与所述预对准组件固接的下支架，所述下支架上设有用以限定晶圆位置的第二对位部。

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